随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，但造价很高。加速度计型号产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片
石英挠性加速度计是测量线加速度的高精度传感器，加速度计型号，在惯性导航系统中具有重要的作用。然而石英挠性加速度计在使用时容易导致石英摆片挠性梁的断裂，微型加速度计型号，磁感应强度容易受时间、温度等环境因素的影响导致测量产生不稳定性现象。石英挠性加速度计的两部分关键技术:一方面根据石英摆片进行了受力计算和有限元应力分析，改进了石英摆片的结构，并对石英摆片进行了加工实验;另一方面对力矩器进行了设计，运用ANSYS分析得出了力矩器的磁场分布，并且验证了工作间隙的磁感应强度及电磁力的大小。
随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，石英加速度计型号，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。加速度计型号属于单轴重力加速度计，其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。加速度计型号的工作原理是惯性质量受到外界加速度时，相对位置发生轻微偏移，引起差动电容极板距离的变化导致差动电容量的变化。
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